Langkah -langkah operasi mesin pelapis optik melibatkan banyak tautan. Berikut ini adalah langkah operasi terperinci:
1. Persiapan pendahuluan
Periksa status mesin:
Periksa apakah mesin pelapis optik dalam kondisi kerja normal, termasuk apakah catu daya, sumber gas, sistem pendingin, dll. Normal.
Lepaskan puing -puing di dalam dan di sekitar mesin, terutama residu bahan penguapan, untuk memastikan lingkungan kerja yang bersih.
Persiapan materi:
Pilih lensa optik berkualitas tinggi atau bahan lain yang perlu dilapisi.
Siapkan bahan penguapan, seperti target logam, untuk memastikan bahwa kemurnian dan kualitas bahan memenuhi persyaratan.
Persiapan Peralatan:
Siapkan peralatan pelapisan yang diperlukan seperti pengukur ketebalan film vakum, pompa vakum, dan sumber ion.
Periksa apakah peralatannya utuh untuk memastikan bahwa itu dapat bekerja secara normal.
Persiapan Lingkungan:
Pastikan ruang pelapis tertutup rapat dan tidak ada kebocoran udara.
Siapkan alat pembersih seperti cairan pembersih dan air deionisasi, serta penggilingan, dekontaminasi dan alat lainnya.
2. Pra-perawatan lapisan
Polishing:
Poles halus lensa optik untuk menghilangkan depresi dan kotoran kecil di permukaan.
Pembersihan:
Gunakan cairan pembersih khusus dan peralatan pembersih ultrasonik untuk membersihkan lensa optik untuk memastikan permukaannya bersih.
Setelah dibersihkan, bilas dengan air deionisasi untuk menghilangkan sisa cairan pembersih.
Pemanasan vakum:
Masukkan lensa yang dibersihkan ke dalam ruang vakum dan panaskan lensa dengan pemanasan listrik.
Gas yang diadsorpsi di permukaan diuapkan dan dipompa untuk memastikan kebersihan lingkungan pelapis.
3. Operasi pelapisan
Setel parameter proses:
Menurut persyaratan pelapisan, atur parameter proses yang sesuai seperti suhu penguapan, laju penguapan, derajat vakum, dll.
Proses penguapan:
Tambahkan bahan penguapan ke sumber penguapan, seperti filamen tungsten.
Nyalakan sumber penguapan, lakukan proses penguapan, dan lepaskan atom aktif.
Deposisi Film:
Gunakan sumber energi seperti sumber ion atau balok elektron di ruang vakum untuk menyimpan atom atau molekul yang diuapkan pada permukaan lensa.
Selama proses pengendapan, pengukur ketebalan film vakum digunakan untuk memantau ketebalan film secara real time untuk memastikan bahwa persyaratan yang telah ditentukan dipenuhi.
Pemanasan tambahan:
Selama proses pengendapan, mungkin perlu menggunakan teknologi pemanas tambahan untuk memanaskan permukaan substrat hingga suhu self-condensation dari lapisan film, yang kondusif untuk kondensasi dan pemadatan lapisan film.
4. Perawatan pasca pelapisan
Pendinginan:
Ketika proses pelapisan selesai, matikan sumber energi seperti sumber penguapan dan sumber ion.
Biarkan ruang vakum menjadi dingin secara alami hingga suhu kamar, atau gunakan pendinginan paksa untuk mempercepat proses pendinginan.
Keluarkan benda kerja:
Setelah tekanan udara di ruang vakum kembali ke tekanan normal, buka pintu ruang vakum dan keluarkan lensa yang dilapisi.
Pembersihan dan Inspeksi:
Bersihkan lensa yang dilapisi untuk menghilangkan kotoran yang mungkin tetap di permukaan.
Periksa kualitas lapisan, termasuk apakah ketebalan film, keseragaman, kinerja optik, dll. Memenuhi persyaratan.
5. Pemeliharaan dan Perawatan
Bersihkan ruang reaksi:
Bersihkan interior ruang reaksi dan komponen seperti pelat pemanas untuk menghilangkan bahan penguapan dan kotoran residual.
Penggantian bagian:
Menurut penggunaan peralatan, secara teratur mengganti bagian -bagian dengan keausan parah, seperti sumber penguapan, sumber ion, dll.
Pemeliharaan:
Lakukan pemeliharaan yang komprehensif pada peralatan, termasuk memeriksa apakah catu daya, sumber gas, sistem pendingin, dll. Bekerja dengan benar.
Kalibrasi dan debug peralatan secara teratur untuk memastikan akurasi dan stabilitas pelapisan.
Di atas adalah langkah operasi dasar dari mesin pelapis optik. Mesin pelapis optik dari berbagai model dan spesifikasi mungkin memiliki operasi spesifik yang berbeda. Oleh karena itu, dalam proses operasi yang sebenarnya, manual peralatan harus diikuti secara ketat dan peraturan keselamatan yang relevan dan prosedur operasi harus diamati.
