Peralatan pelapisan vakumsering menghadapi situasi yang tidak terduga selama pengoperasian, seperti pemadaman air, pemadaman listrik, dan kebocoran udara. Ketika dihadapkan pada situasi ini, operator mungkin bingung dan tidak yakin bagaimana cara menanganinya. Di bawah ini, Puyuan Vacuum akan memberikan rencana darurat terperinci untuk pengoperasian peralatan pelapis vakum:
1. Peralatan pelapisan PVD memerlukan pembersihan setelah jangka waktu pengoperasian tertentu.
Setelah jangka waktu pengoperasian, biasanya 50 hingga 70 siklus tungku, peralatan pelapisan PVD perlu dibersihkan untuk menghilangkan debu dari tungku. Kemudian, jalankan tungku satu kali tanpa beban. Prosedurnya pertama-tama melibatkan evakuasi tungku ke tingkat vakum yang lebih tinggi dari 10⁻² Pa, kemudian pemanasan pada suhu yang umumnya 20 derajat lebih tinggi dari suhu pengoperasian normal. Pertahankan suhu ini pada tingkat setinggi mungkin setidaknya selama satu jam, lalu biarkan dingin secara alami. Proses ini menjaga ruang internal peralatan pelapis vakum tetap bersih.
2. Mengganti Tabung Gas
Bila tabung gas yang digunakan pada peralatan pelapis vakum perlu diganti, lepas katup pengatur tekanan dan ganti dengan silinder baru. Pastikan tidak ada kebocoran pada saat pemasangan. Setelah mengganti silinder, sebelum memanaskan benda kerja, tungku harus dibersihkan selama proses evakuasi untuk menghilangkan udara yang terperangkap di dalam pipa selama penggantian silinder, sehingga pipa pembersih tetap bersih.
3. Oleskan sedikit minyak pelumas ke bagian yang berputar.
Oleskan sedikit oli pompa vakum ke bagian yang berputar untuk pelumasan. Pastikan pompa vakum bersih, bebas dari besi, pasir, dan debu. Pastikan kontak yang baik dalam sistem penentuan posisi. Pompa vakum harus berputar dengan mudah tanpa ketidakrataan atau penyumbatan parah.
4. Kebocoran Udara Mendadak Terdeteksi Selama Pengoperasian Normal
Jika kebocoran udara tiba-tiba terdeteksi selama pengoperasian normal, dan titik kebocoran dapat segera ditemukan, maka harus ditutup dengan penyegel vakum. Perbaikan lebih lanjut dapat dilakukan setelah pekerjaan yang sedang berlangsung selesai. Jika kebocoran tidak dapat ditemukan, pekerjaan harus segera dihentikan dan perbaikan harus dilakukan.
5. Pemadaman Air dan Listrik Saat Suhu Tinggi
Peralatan vakum paling rentan terhadap pemadaman air dan listrik selama suhu tinggi. Oleh karena itu, idealnya pengguna harus memasang tangki air cadangan atau menghubungkannya ke pasokan air keran selama pemasangan peralatan. Jika peralatan mengalami pemadaman air atau listrik selama suhu tinggi, semua pompa dan katup harus ditutup. Operator harus segera menghubungkan pasokan air cadangan atau air keran ke air-mendinginkan peralatan. Jika listrik tidak dapat dipulihkan dengan cepat, katup inflasi manual dari sistem inflasi/deflasi harus dibuka untuk menggembungkan peralatan sebagai perlindungan, dengan tekanan inflasi sekitar -0,02 MPa. Kemudian, putar semua tombol pada kabinet kendali ke posisi “mati”. Secara bersamaan, tempelkan handuk lembap ke antarmuka lead-out elektroda dan gantilah secara teratur untuk mencegah panas berlebih pada antarmuka elektroda dan kerusakan pada cincin penyegel.
Sebagai seorang insinyur yang bekerja dengan peralatan pelapis vakum, menguasai rencana tanggap darurat sangatlah penting. Situasi tak terduga dapat terjadi selama pengoperasian, dan intervensi yang tepat waktu sangat penting untuk mencegah kerugian yang tidak perlu.
