Mesin pelapis vakum optik terdiri dari sistem vakum, sistem penguapan, sistem pendingin, dan sistem kelistrikan. Sistem vakum terdiri dari tangki vakum dan sistem pembuangan. Tangki vakum adalah bagian utama dari mesin pelapis, dan proses pelapisan diselesaikan di tangki vakum. Tangki vakum dan sistem pembuangan dihubungkan melalui katup penghubung. Untuk mencegah pengaruh molekul udara pada ion yang tergagap dan meningkatkan kualitas lapisan film, komponen optik dan sumber ion harus ditempatkan di lingkungan vakum selama pengoperasian.
Sistem pembuangan terutama terdiri dari pompa mekanis, pompa Roots, dan pompa vakum, yang bertanggung jawab untuk membuang gas di tangki vakum dan membentuk lingkungan vakum di dalam tangki. Sistem penguapan terutama mengacu pada alat pembentuk film. Ada banyak jenis alat pembentuk film pada mesin pelapis, seperti pemanasan resistansi, penguapan senjata elektron, sputtering magnetron, sputtering frekuensi radio, pelapisan ion, dll.
Mesin pelapis vakum optik mengaplikasikan film tipis ke komponen optik melalui sputtering vakum, memodifikasi reflektifitas dan transmisi cahaya yang datang. Untuk meminimalkan kehilangan pantulan pada permukaan komponen dan meningkatkan kualitas gambar, sering kali diterapkan beberapa lapisan film tipis. Setelah melapisi komponen optik, cahaya dipantulkan dan ditransmisikan beberapa kali pada permukaan film multilapis, membentuk banyak berkas interferensi. Dengan mengontrol ketebalan dan indeks bias lapisan film, distribusi intensitas yang bervariasi dapat dicapai. Prinsip ini dapat digunakan untuk memproduksi film reflektif polarisasi, film pemisahan warna, film cahaya dingin, dan filter interferensi untuk memenuhi kebutuhan yang lebih kompleks.
