Saat ini terdapat banyak metode untuk memantau film tipis pada mesin pelapis vakum, terutama meliputi: pemantauan visual, pemantauan nilai tetap (ekstrim), pemantauan osilasi kristal, dan pemantauan waktu. Artikel ini terutama akan memperkenalkan tiga metode: pemantauan visual, pemantauan nilai tetap (ekstrim), dan pemantauan osilasi kristal. Pemantauan visual, juga dikenal sebagai pemantauan langsung, menggunakan mata untuk memantau film. Selama proses pertumbuhan film, fenomena interferensi menyebabkan perubahan warna, dan kami mengontrol ketebalan film berdasarkan perubahan warna tersebut. Metode ini memiliki tingkat kesalahan tertentu dan tidak terlalu akurat sehingga memerlukan pengalaman.
Pemantauan-nilai tetap (nilai-ekstrim): Hal ini terutama menggunakan pemantauan optik reflektif (transmisif). Metode pemantauan nilai-ekstrim: Seiring bertambahnya ketebalan film, reflektifitas dan transmitansinya juga berubah. Ketika reflektifitas atau transmitansi mencapai titik ekstrem, ketebalan optik ND lapisan dapat ditentukan sebagai kelipatan bilangan bulat dari satu-seperempat panjang gelombang pemantauan (λ). Namun, metode nilai-ekstrim mempunyai kesalahan yang relatif besar karena reflektivitas atau transmitansi berubah sangat lambat mendekati nilai ekstrem; artinya, R/T hanya berubah setelah peningkatan signifikan pada ketebalan film ND. Posisi paling sensitif adalah pada-kedelapan panjang gelombang. Metode pemantauan nilai tetap: Metode ini memanfaatkan fakta bahwa titik penghentian pelapisan tidak berada pada{12}}seperempat panjang gelombang pemantauan. Kemudian, komputer menghitung reflektivitas (atau transmitansi) dari total ketebalan film pada panjang gelombang 1, yang merupakan titik penghentian pelapisan. Pemantauan osilasi kristal: Prinsip kerja osilasi kristal didasarkan pada prinsip bahwa frekuensi getaran kristal kuarsa berbanding terbalik dengan massanya. Namun, salah satu kelemahan pemantauan kuarsa adalah ketika ketebalan film meningkat hingga tingkat tertentu, frekuensi getaran tidak sepenuhnya berhubungan linier dengan ketebalan karena sifat kuarsa itu sendiri. Dalam hal ini, osilator kuarsa baru harus digunakan.
Beberapa metode pemantauan masing-masing memiliki kelebihan dan kekurangan, namun untuk pelapisan multi-lapisan, pemantauan optik biasanya merupakan metode utama, dilengkapi dengan osilasi kristal kuarsa. Selain itu, untuk beberapa proses yang memerlukan injeksi gas selama pelapisan, diperlukan pengukur aliran atau pengukur tekanan, yang memerlukan katup presisi dan sistem penginderaan fotolistrik untuk kontrolnya. Mesin pelapis vakum juga memerlukan sistem kendali putaran, dimana poros utama payung ditempatkan di dalam bantalan, dan motor menggerakkan bantalan untuk memutar payung. Kecepatan putaran kemudian dikontrol oleh PLC. Rotasi wadah digerakkan oleh motor dan menggunakan penghitungan induksi fotolistrik, sedangkan pelat pelindung berputar menggunakan sakelar pneumatik. Untuk mempercepat laju pemompaan dan mencapai tingkat vakum tertentu, ruang vakum perlu didinginkan, membekukan udara di dalamnya hingga -130 derajat Celsius dan membekukan serta menghilangkan uap air. Bagian kontrol kelistrikan terutama mengadopsi kontrol otomatis PLC. Program yang telah dirancang sebelumnya dimasukkan terlebih dahulu ke PLC, dan sirkuit utama prosesor dihubungkan ke setiap sistem tanpa beban di panel operasi. Ketika sakelar pada panel operasi ditekan, informasi dikirimkan ke prosesor pusat, dan kemudian sistem kendali pusat menganalisis dan mengeluarkan instruksi ke sirkuit cabang untuk menjalankan dan menyelesaikan tindakan.
Mesin pelapis vakum adalah perangkat yang mengintegrasikan berbagai disiplin ilmu. Mereka menggabungkan teknologi elektromekanis tercanggih, teknologi kontrol, otomatisasi kelistrikan, teknologi IT, teknologi pendingin, sistem terintegrasi sirkuit mikro,-sistem kontrol tegangan tinggi, teknologi mekanis, teknologi pemrosesan, teknologi optoelektronik, teknologi optik, teknologi kontrol pneumatik, teknologi penginderaan optoelektronik, teknologi komunikasi, teknologi vakum,-teknologi pelapisan dan optik film tipis, dan banyak lagi. Mesin pelapis vakum dapat dianggap mewakili industri yang sedang berkembang. Saat ini mesin pelapis vakum banyak digunakan, terutama dalam produksi film tipis. Berbagai film tipis yang dihasilkan digunakan dalam berbagai sistem optoelektronik dan instrumen optik, seperti kamera digital, camcorder digital, teleskop, proyektor, pengontrol energi, komunikasi optik, teknologi tampilan, interferometer, satelit dan rudal buatan, laser semikonduktor, sistem mikroelektromekanis, industri informasi, manufaktur laser, berbagai filter, industri pencahayaan, sensor, kaca arsitektur, industri otomotif, barang-barang dekoratif, koin, lensa kacamata, dan banyak lagi. Mesin pelapis telah terintegrasi erat ke dalam kehidupan manusia.
