Perawatan Mesin Pelapis Vakum Optik
(1) Ganti Oli Pompa Difusi Secara Teratur
Oli pompa difusi sebaiknya digunakan dalam jangka waktu kurang lebih dua bulan (dua shift). Karena-lingkungan bersuhu-tinggi dalam jangka panjang, meskipun pompa difusi hanya diaktifkan pada vakum yang relatif tinggi, sisa oksigen dan komponen lainnya dapat bereaksi dengan oli pompa difusi. Temperatur yang tinggi juga dapat menyebabkan minyak pompa difusi terurai, menurunkan kualitasnya dan memperpanjang waktu pemompaan. Jika waktu pemompaan dirasa terlalu lama, sebaiknya diganti.
(2) Pompa Vakum: Oli pompa mekanis dan oli pompa pemeliharaan akan mengalami perubahan kualitas setelah dua bulan penggunaan. Hal ini dapat terjadi karena masuknya uap air, kotoran, dan faktor lainnya, yang dapat menyebabkan viskositas oli menurun dan vakum menurun sehingga memerlukan penggantian. Untuk peralatan baru, penggantian sebaiknya dilakukan dalam dua minggu pertama penggunaan. Selama periode istirahat-, oli mengandung debu besi dengan konsentrasi tinggi, yang dapat meningkatkan keausan.
(3) Kebersihan dan Sanitasi: Menjaga kebersihan peralatan dan lingkungan sekitar secara teratur, menjaga kebersihan bagian dalam dan luar peralatan, serta menata lingkungan sekitar untuk menciptakan lingkungan kerja yang baik dan menjamin keselamatan.
Membersihkan danMesin Pelapis Vakum Optik
Setelah satu minggu pengoperasian (tiga shift), bahan pelapis tidak hanya akan melapisi permukaan benda kerja namun juga lapisan di dalam ruang karena lapisannya yang tidak-terarah. Lapisan tersebut secara bertahap akan menjadi lebih tebal. Film ini, karena strukturnya yang longgar dan belitannya, menyerap sejumlah besar gas, menyebabkan peralatan pelapis vakum memompa udara lebih lambat. Pada saat ini, chamber dan liner harus dibersihkan. Komponen pembongkaran yang tidak perlu dapat diampelas hingga bersih. Liner dapat direndam dalam larutan asam fluorida. Rasio asam fluorida dan air harus ditentukan berdasarkan waktu perendaman yang diperlukan dan efek yang diinginkan pada lapisan. Liner harus dikeringkan sebelum pemasangan. Sebelum mengeringkan, seka liner sekering mungkin. Setelah membersihkan rangka kerja dan komponen lainnya dengan amplas, bersihkan semua debu dari ruang vakum. Ini bisa dilakukan dengan penyedot debu. Terakhir, saat memasang liner, ruang vakum dan liner harus dibersihkan dengan lap yang dikontrol alkohol. Penggunaan senjata elektron dan sumber ion untuk membantu pelapisan mungkin mempersulit pembersihan; sandblasting atau metode pembersihan lainnya dapat digunakan.
