Sumber ion mesin pelapis multi-arc didasarkan pada debit busur vakum katoda dingin. Bahan target katoda memiliki bintik -bintik bergerak. Bintik -bintik memancarkan uap logam dan terionisasi menjadi ion. Ion disimpan di permukaan benda kerja untuk membentuk lapisan. Prinsip kerja sumber ion mesin pelapis multi-arc adalah untuk menghasilkan pelepasan busur di lingkungan vakum melalui bahan target katoda untuk membentuk plasma kepadatan tinggi. Ketika arus melewati bahan target, bintik -bintik kecil akan terbentuk di permukaan dan bergerak dengan kecepatan tinggi. Bintik -bintik ini akan menguap dan mengionisasi bahan target untuk menghasilkan ion logam. Ion -ion ini dipercepat untuk terbang ke arah benda kerja di bawah aksi medan listrik, dan akhirnya disimpan di permukaan untuk membentuk lapisan yang seragam dan padat.
